定量への道筋
■検量線法
RoHSの検査は50ppmレベルの微量重金属の測定が使命
⇒ 検量線法 による測定が必須
検量線作成
ABS 標準試料中のCd含有率(6水準標準試料)
Cd : 23 、 45 、 92 、 240 、 490 、 980 ppm

表面コート・メッキ試料の管理には含有率を 膜厚または付着量(mg/m 2 )に置き換える
RoHS
規制有害金属用検量線:7グループ
測定方式:補正検量線法(プレインストールして出荷)
| ベース材質(品種) | 標準試料メーカ | |
|---|---|---|
| Resin | PVC(塩化ビニール) | 住化分析センター |
| PE(ポリエチレン) | 住化分析センター | |
| Metal | 銅(Cu)合金 | 住金テクノロジー |
| 鉛(Pb)フリー半田 | MBH | |
| 鉛(共晶)半田 | MBH | |
| 鉄ベース合金 | MBH | |
| アルミ(Al)合金 | 住金テクノロジー |
測定光学系と要素部品
X線光学系の3要素
(1)X線管球:測定目的に合致(W)
(2)光学系フィルター材質の最適化
(3)高感度・高計数率検出器の搭載

エネルギー分散型蛍光X線検査装置の測定光学系は非常にシンプルな構造なので、装置性能は発生源の強度と検出器の感度+フィルターの最適化で決まります。
産業ユースを第一に考えたサンプルステージ
フルフラットサンプルステージを採用し大型サンプルのセット・交換がストレス無く簡単に行えます。
試料室サイズは標準 470mm (幅)× 300mm (奥)× 100mm ( 高) と 大型サンプルにも対応できます。 (オプションで試料室蓋 高さ150mmもご用意いたします)

蛍光 X 線の基本原理

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