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蛍光X線検査装置

定量への道筋

■検量線法

RoHSの検査は50ppmレベルの微量重金属の測定が使命
⇒ 検量線法 による測定が必須

検量線作成
ABS 標準試料中のCd含有率(6水準標準試料)
Cd : 23 、 45 、 92 、 240 、 490 、 980 ppm

表面コート・メッキ試料の管理には含有率を 膜厚または付着量(mg/m 2 )に置き換える

RoHS

規制有害金属用検量線:7グループ

測定方式:補正検量線法(プレインストールして出荷)

  ベース材質(品種) 標準試料メーカ
Resin PVC(塩化ビニール) 住化分析センター
PE(ポリエチレン) 住化分析センター
Metal 銅(Cu)合金 住金テクノロジー
鉛(Pb)フリー半田 MBH
鉛(共晶)半田 MBH
鉄ベース合金 MBH
アルミ(Al)合金 住金テクノロジー

測定光学系と要素部品

X線光学系の3要素

(1)X線管球:測定目的に合致(W)
(2)光学系フィルター材質の最適化
(3)高感度・高計数率検出器の搭載

エネルギー分散型蛍光X線検査装置の測定光学系は非常にシンプルな構造なので、装置性能は発生源の強度と検出器の感度+フィルターの最適化で決まります。

産業ユースを第一に考えたサンプルステージ

フルフラットサンプルステージを採用し大型サンプルのセット・交換がストレス無く簡単に行えます。
試料室サイズは標準 470mm (幅)× 300mm (奥)× 100mm ( 高) と 大型サンプルにも対応できます。 (オプションで試料室蓋 高さ150mmもご用意いたします)

蛍光 X 線の基本原理

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